多くの企業が半導体分野の部品を提供していますが、専門知識と技術サポートを兼ね備え、最適なソリューションを提供できるのはSPPインダストリーだけです。電子部品設計者として、困難でリスクの高い問題を解決する場合、SPPインダストリーにお任せください。弊社のテクニカルセールスエンジニアが直接お客様と連携し、業界固有の知識と技術経験を提供します。また、お客様のご要望に合わせた革新的なカスタマイズ・ソリューションもご提供できます。性能、品質、価格、納期のベストバランスを提供する当社の強みのおかげで、集積回路システム、ICパッケージングシステム、リードフレームシステム、プラスチゾルシステムのあらゆる一流設計者と数十年にわたる関係を築いてきました。 私たちの能力は以下の通りです:
半導体製造装置には、高剛性、加工精度、耐振動性、耐熱性、熱伝導性、表面仕上げ精度、耐金属汚染性、耐薬品性、耐ガス性、耐プラズマ性、絶縁性、誘電率、正誘電特性、その他、抵抗値、体積抵抗率、低パーティクル発生、コストなど様々な特性が要求されます。SPPでは、これらの特性を満足できるセラミックスとして、高純度アルミナ(Al2O3 99.7%以上、Al2O3 99.9%以上)、窒化アルミニウム(ALN)、酸化イットリウム(Y203)を提案しています。高純度アルミナは、その特性から、トランスミッションアーム、ウエハステージ、RF高周波透過窓などに使用されている。また、優れた金属化特性を示す。窒化アルミニウムは、熱伝導性、放熱性、耐熱衝撃性、電気絶縁性に優れ、シリコンウェーハに近い熱膨張係数を持つ。酸化イットリウムは耐プラズマ性に優れた材料である。
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